잉크젯 가공장치

  • 초미량 고 점도대응 입체 구조체 형성
  • 최소 토출량 0.1fL (femtoliter)
  • 고 점도 액(10,000cps) 비 가열 토출
  • 입체구조체 (필러) 형성

장치 · 기술의 개요

  • 슈퍼 잉크젯 가공장치는 독자개발의 슈퍼잉크젯 (SU) 헤드를 탑재해 초 미량 · 고 점도 토출을 가능하게 했습니다. 현재 시판되고 있는 가정용 잉크젯 프린터에 사용되고 있는 헤드의 토출 가능액의 사이즈에 비교해 체적으로 1/1000 이하의 초 미소 액상 토출이 가능합니다.
  • 슈퍼 잉크젯 가공장치는 테스크탑에 들 수 있을 만큼 컴팩트 합니다. 대기 중 · 상온에서 포토리소그래피 공법에 필적하는 미세한 패턴을 묘사하고, 단시간에 간단한 조작이므로 시작이 가능합니다.

특징

  • 토출량 : 0.1fl(femtoliter) ~ 10pl (picoliter) 세계최소토출량 !
    라인폭 : 0.6 µm ~ 수십 µm
  • 대응점도범위 : 0.5 ~ 10,000cps (비가열) 세계최소토출량 !
  • 입체구조체 형성 고정밀의 토출위치 !
  • 광범위한 액체 토출가능 전용잉크 불필요 !
    도전, 절연, 레지스트, 접착제, 단백질, 용체류 UV용제 등

높은 사용성

  • 번거로운 헤드와 공급기의 세정 불필요
  • 불과 10µ의 미량충전으로 보다 장시간 사용가능. 희소 · 고가의 재료를 낭비하지 않음
  • 쉽게 잉크충전 가능, 불과 3분에 헤드 교환 가능
  • 전용 소프트웨어로 수치의 입력에 의해 토출량(라인 폭, 입경)의 변경이 가능
  • 분해능 0.1 µm, 반복배열 ±0.2 µm의 고정도의 시료스테이지 탑재
  • 도포중인 영상을 실시간으로 관찰 가능
  • CCD 카메라로 위치 재현 가능 (소프트웨어에 의한 보정기능 탑재)

슈퍼 잉크젯 용도 예

용도 예

  • 최첨단기술 프린터전자 / 태양전지 / 터치판넬 / LED
  • 기존기술 대체 부분도금 / 레지스트 도포 / 미량토출 / 범프(돌출부) 형성
  • 옵틱스 포토마스크 형성 / 마이크로렌즈 / 마이크로필터
  • 바이오 단백질의 패터닝 / 세포의 발판 형성 / 초정밀 마이크로 어레이

도전 잉크

라인 / 스페이스 1µm Ag Paste

회로 예

선폭 5µm Au paste

다양한 잉크토출

단백질 (소혈청알부민)

도전성고분자
산업기술종합연구소
나노테크놀러지 연구부문

카본나노튜브

기능성세라믹
산업기술종합연구소
계측프론티어 연구 부문

입체구조체형성

필러경 5µm